应用于磁控溅射镀膜生产线的计算机监控系统的设计

摘 要：本文介绍了一种成功应用的磁控溅射镀膜生产线计算机监控系统的设计，重点讨论了计算机监控系统的硬件配置、软件设计、通信协议、控制过程实现以及软件编程的控制算法。

本文引用地址：肇庆市大力真空设备有限公司生产的DJW（L）系列卧式（立式）磁控溅射镀膜生产线采用DC电源或中频电源控制平面靶、圆柱旋转靶或中频孪生靶在工件上溅射成膜，广泛应用于各种建筑玻璃、ITO透明导电玻璃、家电玻璃、高反射后视镜及亚克力镀膜等行业。

清华微电子推出高频管分立器件裸片，已做到9G截止频率

该系列生产线在吸收欧洲同类生产线的先进技术和镀膜工艺的同时，融合了独特的操作人性化、使用简便化设计理念，在用户群体中得到了充分的肯定。

在该系列磁控溅射镀膜生产线中，一台10.4寸pro-face彩色触摸屏作为主要操作界面已经成为标准配置，工作亦较稳定.由于镀膜生产中需要控制的工艺参数较多，为了更大地提高工作效率和镀膜工艺的可控性，我们设计了一套计算机监控系统来完成整个生产过程的监控和参数优化，从而使镀膜生产具有很好的工艺重复性，更适合工

业化大批量生产的需要。

1 监控系统的功能设计

根据生产线工作状况和生产要求，该计算机监控系统设计有以下功能。

（1） 模式选择：为了满足生产线的工作需要，该计算机监控系统设计了两种运行模式一一 用于镀膜生产的自动监控模式和用于调试及检修的手动监控模式，两种运行模式可自由切换。

（2） 工艺方案选择：为了实现对多种工件的镀膜自动化，该监控系统设计了多种工艺方案供使用者选择，设备运行前选择要使用的方案，或自行设定新的方案，然后开始镀膜生产。

（3） 数据检测记录：为了方便用户监控工艺过程，分析研究工艺参数的作用，及时调整工艺参数以获得更好的镀膜效果，该监控系统：1）实时显示各磁控靶电源电压、电流、各真空计数值、气体流量等参数数值；2）定时记录设备运行情况，每30分钟记录一次，或按要求随时记录；3）记录重要工艺参数，并形成报表文件和历史曲线。

（4） 故障报警记录：1）在设备出现故障时监控系统自动弹出报警画面和文字提示，同时报警灯闪烁；2）记录所有报警信息，以备检修时查询；3）根据故障的轻重缓急，可对报警信息进行分类。

（5） 自动诊断保护：这是一种保护措施，减少因故障对设备造成的损害，主要表现在：1）当设备出现严重故障时，监控系统可自动关机；2）磁控电源开启后，对其电压和电流实行缓升，缓降以保护电源；3）可自行检测上、下位机通信是否正常。

（6） 操作权限限定：利用该功能可以限制一般用户的权限，防止误操作，减少出错几率；同时还可以实现控制和监控的统一。

（7） 其它功能：该计算机监控系统还设置了系统时钟、设备输入输出点监控界面、设备操作说明界面等方便用户查询、使用的一些实用功能。

2 监控系统的构成

本计算机监控系统由上位机、下位机和通信协议三部分构成，系统硬件结构如图1所示。

上位机用于监控生产运行状况和生产工艺数据，完成对镀膜生产的全部控制，并将获取的历史数据，作为镀膜效果检测分析的一项凭据。由于上位机所处的环境干扰较小，所以选用普通的PC机，操作系统采用通用性好、功能强的Microsoft WindowsXP。监控和数据采集软件选用北京九思易自动化软件有限公司开发的易控（INSPEC）E20通用组态监控系统软件,它是全球首款基于Microsoft最新操作平台.NET的同类产品，具有监控功能强大、性能稳定、图形精美、易学易用、开发高效及扩展容易等一系列优点，它采用高级语言C#作为用户程序（脚本）语言，能很好地满足控制的要求。采集和数据显示的功能也比较完善，只要安装好设备的驱动程序就能与各种PLC、智能仪表、板卡及变频器等设备进行通信，还可以与其它计算机相连，组成一个企业的分布式生产管理网络。

使用 JavaScript 校验表单

JavaScript DOM与事件

Ajax 封装

使用MyBatis-tk 和 pagehelper